MIKROMECHATRONIKA

MICROMECHATRONICS

skrót:

?MKM?

Instytut Mikromechaniki i Fotoniki - Zakład Konstrukcji Urządzeń
Precyzyjnych

Autor programu:

  • prof. nzw. dr hab. inż. Zygmunt Rymuza

Liczba godzin zajęć według planu studiów:

Semestr Wykład Ćw. Lab. Proj.
VI 30      

Liczba punktów kredytowych: 3

Powiązania z innymi przedmiotami

Wymagana znajomość:
podstawowe wiadomości z zakresu fizyki, chemii, materiałoznawstwa, mechaniki, elektroniki, optyki.

Zakres wykładu

Wprowadzenie:
 geneza, historia rozwoju mikromechatroniki -budowy mikrosystemów (MEMS) (2)

Podstawy budowy:
wymagania, technologie: surface micromachining i bulk micromachining na krzemie, LIGA, mikrotechnologie konwencjonalne i specjalne (6)

Konstruowanie:
architektura systemów mikromechatronicznych, dobór postaci i cech konstrukcyjnych, problemy skali, symulacja komputerowa (3,5)
Problemy materiałowe i inne:
dobór materiałów, tarcie, zużycie i smarowanie, niezawodność, trwałość (2)

Techniki badawcze:
skaningowa mikroskopia tunelowa (STM) i sił atomowych (AFM), badania właściwości mechanicznych, trybologicznych i innych, elementów, podzespołów i gotowych MEMS (4)

Zastosowania, trendy rozwojowe, problemy rynkowe:
czujniki mikromechaniczne (do pomiaru ciśnienia, przyśpieszeń i inne), mikrosilniki, mikroturbiny, mikropompy, złozone systemy elektromechaniczne, mikrooptyka, technika medyczna, mikrorobotyka, mikro/nanotechnologie, zapis informacji, badania naukowe, trendy rozwojowe, problemy rynkowe (8)

Zajęcia praktyczne: 
zapoznanie się z technologią wyciągania kryształów krzemu i produkcji płytek krzemowych oraz implantatorem jonów w Instytucie Technologii Materiałów Elektronicznych, zapoznanie się z linią doświadczalno-produkcyjną układów scalonych i mikroskopią STM/AFM w Instytucie Technologii Elektronowej, zapoznanie się z mikroskopią STM/AFM w Instytucie Mikromechaniki i Fotoniki (7,5)

W ramach wykładu przewidziane są zajęcia demonstracyjne w laboratorium Mikro/nanotechniki, wycieczki do laboratoriów: Instytutu Fizyki PAN, Instytutu Technologii Materiałów Elektronicznych.