INŻYNIERIA POWIERZCHNI W MIKROTECHNICE

SURFACE ENGINEERING IN MICROTECHNOLOGY

skrót:

?IPM?

Instytut Mikromechaniki i Fotoniki - Zakład Konstrukcji Urządzeń
Precyzyjnych

Autor programu:

  • prof. nzw. dr hab. inż. Zygmunt Rymuza

Liczba godzin zajęć według planu studiów:

Semestr Wykład Ćw. Lab. Proj.
VIII 30      

Liczba punktów kredytowych: 3

Powiązania z innymi przedmiotami

Wymagana znajomość:
podstawowe wiadomości z zakresu fizyki, chemii, materiałoznawstwa, techniki MEMS.

Zakres wykładu

Wprowadzenie:
znaczenie właściwości powierzchni w budowie urządzeń mikrotechniki, podstawy fizyczne sterowania jakością powierzchni, makro/mikrogeometria powierzchni (4)

Techniki modyfikacji powierzchni/warstwy wierzchniej:
cienkie i ultracienkie warstwy,implantacja jonowa i mieszanie jonowe; nowoczesne powłoki diamentopodobne, diamentowe i amorficzne węglowe, z azotku węgla i inne  (6)

Właściwości niektórych nowoczesnych powłok i warstw specjalnych:
właściwości nanomechaniczne i mikro/nanotrybologiczne, przeciwkorozyjne i inne  (6)

Zastosowania:
technika komputerowa, MEMS, mikrorobotyka, technika medyczna, optyka, elektronika, telekomunikacja, technika kosmiczna itp.(6)

Zajęcia praktyczne:
zapoznanie się z technologiami nanoszenia i badania ultracienkich powłok i warstw (implantacja jonowa) oraz narzędziami do badania własności takich warstw w Instytutach: Technologii Elektronowej, Technologii Materiałów Elektronicznych, na Wydziale Chemii PW, Instytucie Mechaniki Precyzyjnej i Instytucie Mikromechaniki i Fotoniki PW.